.
- Unha/Dúas Portas
O marco e a cámara están feitos de aceiro inoxidable ao carbono.
Cada porta proporciona unha ventá de inspección para o control visual do proceso.As paredes das portas proporcionan un forro de aceiro inoxidable que se elimina facilmente para o mantemento.
-Cámara de baleiro personalizada
A cámara proporciona forros interiores de aceiro inoxidable que se eliminan facilmente para a súa limpeza.
As bombas están na súa parte traseira.
A cámara ten unha serie de pequenas bridas co propósito de medir.
-Sistema de bombeo de alto baleiro
Bomba de difusión + bomba de refuerzo + bomba mecánica
-Medición e control do baleiro
Con indicador Pirani metálico + indicador de ionización metálica
-Sistema de movemento de luminarias
-Unidade de control PLC
-Sistema de evaporación de aluminio con transformador de alta potencia
-Marco de ferro
A estrutura é razoable
A capa de película é uniforme
Calidade de formación de película
Alta velocidade de bombeo, ciclo de traballo curto e alta eficiencia de produción
O funcionamento é conveniente
Baixo consumo de enerxía e rendemento estable
Número de modelo | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Dispoñible modelo de dúas portas ou dúas cámaras | |
Dimensión da cámara de baleiro (diámetro * altura) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Material da cámara de baleiro | Aceiro ao carbono, SUS304 ou SUS316L | ||||||
Tecnoloxía de traballo | evaporación de resistencia ao baleiro con filamentos de tungsteno e aluminio, transformador de evaporación de alta potencia | ||||||
Sistema de bombeo | Bomba de difusión+bombas mecánicas, bomba de refuerzo | ||||||
Tempo de bombeo | Da atmosfera a 5.0*10-2Pa menos de 8 minutos | ||||||
Límite de baleiro | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Temperatura de traballo | Temperatura ambiente | ||||||
Modo de traballo | Modo automático ou manual, por 10,4 polgadas PLC toca a pantalla | ||||||
Potencia total | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Pegada | 2*2 metros | 2*3 metros | 3*3 metros | 3*3 metros | 3*4 metros | 4*5 metros | 5*6 metros |
Estas unidades podes facer a medida | 1. Tamaño da cámara de baleiro 2. Configuracións das bombas | ||||||
Instrumentos opcionais | 1. Detector de fugas 3. Sistema de deposición de ións de arco 4. Sistema de pulverización catódica Magntron |