Liña de pulverización de magnetrón en liña de espello de aluminio
Descrición curta:
A liña de pulverización de magnetrón en liña de espellos de aluminio está deseñada para a alta produción de espellos de vidro.Co fin de revestir vidro máis grande e coidar do panel de vidro fráxil, especialmente para as follas de gran tamaño, adoitamos facer unha liña de pulverización catódica horizontal.É unha liña de revestimento de magnetrón continua, coa cámara de bombeo en bruto dianteira e traseira, e despois da cámara de transición, antes e despois da cámara de bombeo fina, unha cámara tampón, sala de chapado en cor.
Deseño obxectivo: cátodos cilíndricos de pulverización catódica de magnetrón ou/e cátodos planos.
Fonte de alimentación: fonte de alimentación con pulverización catódica de magnetrón DC ou MF de alta potencia
Sistema de accionamento: accionamento de rolos, axustable en frecuencia, sistema de apertura de porta da sala de indución.
Sistema de baleiro: bomba de difusión (ou bomba turbomolecular) + bomba roots + bomba mecánica
A liña de pulverización catódica con magnetrón en liña de espello de aluminio normalmente vén con varias cámaras de baleiro para completar o revestimento ao baleiro das follas de vidro.
Principais características:
1.Max.tamaño do revestimento de vidro: 2440x3660mm ou personalizado
2. Están dispoñibles cámaras de baleiro múltiple e deseño de cámara de pulverización múltiple
3. A liña de control magnético horizontal ten unha estrutura de extremo único e dobre;A limpeza dobre do vidro, o revestimento, a detección, a pintura, o secado e o arrefriamento pódense rematar ao mesmo tempo
4. A liña de revestimento por pulverización catódica usa PLC para o control de todo o proceso e está equipada cunha pantalla en cor para mostrar os datos do proceso de revestimento.
Capa de revestimentos: titanio, cromo, aceiro inoxidable, aluminio, prata, cobre, etc.
Composto: TiN, TiO2, etc.
Espesor da capa: 5-100 nm
Transmisión: 8-40% en lonxitudes de onda de 380-780 nm
Temperatura de deposición: temperatura ambiente
Presión máxima despois de 8 horas de bombeo:
Cámara de bloqueo de entrada e cámara de bloqueo de baleiro: 5 × 10-1 Pa ou inferior
Cámara tampón 1: 3×10-3 Pa ou inferior
Cámara de pulverización: 2 × 10-3 Pa ou inferior
Cámara tampón 2: 3×10-3 Pa ou inferior
Cámara de bloqueo de saída e cámara de bloqueo de baleiro: 5 × 10-1 Pa ou inferior